9月18日早盘，光刻机（胶）概念大涨，张江高科（600895.SH）、海立股份（600619.SH）等竞价涨停。截至中午收盘，波长光电收获20CM涨停，蓝英装备、京华激光等股也实现10CM涨停。
消息面上，工信部印发《首台（套）重大技术装备推广应用指导目录（2024年版）》（以下简称《指导目录》）。在电子专用装备目录中，集成电路生产装备包括氟化氩GKJ，光源193纳米，分辨率≤65nm，套刻≤8nm。
光刻机领域取得重大突破
据了解，《指导目录》涉及高端工业母机、工业机器人、集成电路生产装备、高端医疗装备等15大项近百种重大技术。
重大技术装备是国之重器，事关一个国家的综合国力和国家安全。首台（套）重大技术装备，是指国内实现重大技术突破、拥有自主知识产权、尚未取得明显市场业绩的装备产品，包括整机设备、核心系统和关键零部件等。
《指导目录》将为产业、财政、金融、科技等领域给予支持，促进产业升级和科技进步，进一步推动国之重器的推广和应用，同时也将给相关产业链上下游带来巨大的拉动效应。
在《指导目录》中，“集成电路生产装备”板块列出了氟化氪光刻机和氟化氩光刻机。其中，氟化氩光刻机具有65纳米以下的分辨率和8纳米以下的套刻精度，能够支持28纳米工艺芯片的量产。这表明我国在半导体设备领域获得了重大突破。
光刻机作为半导体制造的核心设备，其技术水平直接影响到芯片的性能和成本。随着相关技术上的不断突破，我国将在芯片生产上实现更多自主权，同时也为其在多个工业领域的应用提供了坚实基础。
多个因素驱动行业回暖
2024年以来，半导体行业持续复苏。一方面，消费电子、汽车电子需求驱动半导体市场增长，根据IDC报告，今年上半年，全球智能手机销量同比增长7.2%。在中国市场，“618”购物节期间智能手机销量同比增长7.4%，这一趋势直接推动半导体行业复苏。同时，汽车电子的快速发展也拉动了半导体产品的需求增长。
另一方面，AI需求的爆发促进了逻辑芯片和高端存储器产品需求的反弹，还为相关企业创造了新的增长机会。市场研究机构Gartner预测，2024年全球AI芯片市场规模将同比增长33%，达到713亿美元，2025年有望进一步增长29%。
多个数据均显示，半导体行业正在走出低谷，迎来新一轮成长周期。半导体行业协会数据显示，全球半导体产业销售额在2024年第二季度累计达到1499亿美元，同比增长18%，环比增长6.5%。从地域上来看，中国是增长的主要驱动力之一，实现了21.6%的同比增长。
业内人士表示，上半年半导体行业已展现出需求回暖和技术创新的双重驱动，预计半导体市场将持续复苏。在5G技术普及、智能家居生态扩展以及汽车电子化加速的背景下，半导体行业将迎来更多发展机遇。
半导体设备和材料国产化提速
与此同时，在半导体设备和材料领域，国产化路径日益清晰。
国内碳化硅衬底龙头企业天岳先进（688234.SH）已实现相关产品的对外输出。今年上半年，该公司实现营收9.12亿元，同比增长108.27%；归母净利润1.02亿元，同比扭亏为盈。
华海清科（688120.SH）推出了国内首台拥有自主知识产权的12英寸化学机械抛光设备，加固了自主知识产权的“护城河”。
位于浙江的扬帆新材（300637.SZ）以巯基化合物为核心平台物，向下游延伸拓展出以907为代表的包括 ITX、BMS、369、379等一系列光引发剂，并进一步拓展至阳离子硫鎓盐光引发剂的创新领域。
目前，扬帆新材正在全力推进以产业链深度整合与精湛工艺技术为核心的新型光引发剂的研制与量产，通过持续的科研创新和产品迭代，不断巩固并扩大公司在光引发剂领域的竞争优势，引领行业发展前沿。据了解，光引发剂是光刻胶的关键成分之一，而光刻胶则是光刻胶研发的重要材料。
在不断取得技术突破的同时，多家半导体企业还通过外延并购等方式增强自身实力。比如纳芯微、芯联集成等公司，均在近期发布了并购重组方案，积极推动技术和产品的协同发展。
民生证券在研报中指出，国产光刻机技术不断取得突破，利好半导体设备自主可控的长期发展，继续看好国内晶圆厂的投资增长和国产半导体设备的国产化机遇。后续可关注北方华创、中微公司、精测电子、拓荆科技等公司。
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